高溫真空熱處理爐設(shè)備

一、主要用途：

該設(shè)備主要用于真空或低壓保護(hù)氣氛的環(huán)境下對(duì)工件或材料進(jìn)行加熱處理，提高零件的表面性能及基體組織結(jié)構(gòu)；也可以用于真空加熱除氣、使氧化物蒸發(fā)，提高金屬零件表面光亮度。

二、設(shè)備技術(shù)指標(biāo)

1、最大工作均溫區(qū)：最大工作區(qū)間Φ700×800，最高工作溫度1600℃（爐體按1800℃結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)制造）。

2、設(shè)備總功率≤90KW

3、真空度：極限真空度2×10^-5Pa,真空獲得系統(tǒng)從大氣到5×10^-3Pa的時(shí)間小于40min（空爐）；從極限真空停機(jī)后24小時(shí)后剩余真空度優(yōu)于1 Pa。

4、升溫要求：從室溫至1200℃，在真空條件下升溫時(shí)間≤100min；從室溫至1600℃，在真空條件下升溫時(shí)間≤200min。

5、處理零件載量：≥200 kg

6、壓升率≤0.5Pa/h

四、配置要求

1、真空室組件                                           

真空室尺寸內(nèi)≥ Ф1200mm×1800mm，下底升降開蓋裝料，優(yōu)質(zhì)碳鋼噴漆，氦質(zhì)譜及四極質(zhì)譜檢漏，螺旋水道水冷夾層，氟橡膠圈密封；真空室設(shè)置有觀察窗

2、加熱器及保溫組件                                    

 2.1、三高石墨加熱器，高純石墨氈熱屏蔽，可在真空、保護(hù)性氣紛下工作；絕緣瓷件采用耐高溫的氮化硼，保證絕緣和耐熱。工件臺(tái)采用三高石墨支撐、三高石墨盤等組成保證支撐強(qiáng)度的要求。使用安全可靠，耐高溫壽命長(zhǎng)。

2.2、測(cè)量及控制溫度范圍室溫～1700℃，極限工作溫度1650℃（真空不超過(guò)60分鐘），工作溫度可在1600℃長(zhǎng)期工作（真空），可在1000℃充氣條件下長(zhǎng)期工作，控溫精度±1℃，可按設(shè)定程序控制（進(jìn)口溫控器）。

2.3、最大工作溫區(qū)：≥Ф700×800；

3、工作氣路                                                

由充氣閥、管路、針閥及質(zhì)量流量計(jì)、接頭等構(gòu)成，數(shù)量為2路（解除真空充氮?dú)饧俺浔Ｗo(hù)氣氛），數(shù)字顯示氣體流量。

4、抽氣機(jī)組及閥門、管道    

真空泵：機(jī)械泵：1臺(tái)，擴(kuò)散泵（含冷阱）1臺(tái)；真空獲得系統(tǒng)真空閥：1套；抽速調(diào)節(jié)閥1-2套；

5、安裝機(jī)臺(tái)架組件                                         

優(yōu)質(zhì)方鋼型材焊接成，快卸圍板表面噴塑處理（顏色需按照要求）；機(jī)臺(tái)表面用不銹鋼蒙皮裝飾；

6、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)                                      

6.1、電源機(jī)柜：1臺(tái)；

6.2、總控制電源：1臺(tái)（機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、電磁截止閥、真空計(jì)等提供電源，有斷電斷水保護(hù)功能）；

6.3、加熱控溫IGBT電源：2臺(tái)（采用進(jìn)口控溫表，可實(shí)現(xiàn)多段程序控溫）；單臺(tái)功率≥ 25KW，電壓50V，電流500A。

6.4、數(shù)顯真空計(jì)：1套；量程（1.0×10⁵Pa～1.0×10^-5Pa）；

7、備件   

7.1、所有易損密封口及密封件各2個(gè)；

7.2、觀察窗光學(xué)玻璃：2塊；

7.3、備用三高石墨加熱器1套；

7.4、電離及電阻真空規(guī)管各1只；

7.5、絕緣件1套；

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  VSF真空氣氛熱處理工業(yè)爐

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